M C S +
自動搬送制御管理システム
Material Control System plus

世界トップレベルの信頼性と処理能力



製品概要


半導体工場では、一貫した信頼性の高い搬送が、最高のスループットを左右します。自動化工場において、このような水準の効率を保証するためには、信頼性の高い搬送管理システムを採用することが重要となります。MCS+は、半導体工場のロット、レチクル、およびその他の材料の搬送・保管を行うリアルタイムの搬送管理システムです。国内外に導入実績を持つ「MCS+」の優れた信頼性と処理能力は、世界トップレベルです。

製品特徴


・120,000(transfer/hour)に耐えうる高能力
・AMHS装置との強い連携により、高い信頼性と搬送効率を実現
・高速なルーティングによるリアルタイム制御
・多彩な例外対応による停めない・停まらない搬送
・運用を停止させることなくスケールアウト・サーバ補強・レイアウト拡張、ソフトウェア更新が可能
・使いやすさを追求した高速で多機能なGUI
・豊富な履歴統計データにより、生産計画を協力サポート

主要機能


搬送効率機能


・入出庫管理による搬送集中回避
・Stocker搬出ポートへのVehicle事前配車による移動時間短縮
・ローカル保管によるマニュアル入庫手続き簡素化

AMHSリカバリ


・在庫データの世代管理
・搬送異常処理

高度なメモリキャッシュ機能


高度なメモリキャッシュ機能による高処理能力を実現

実行キューの分離


制御用、Host通信処理用、GUI通信処理用とそれぞれの用途毎に実行キューを用意し、リアルタイム制御を実現

システム監視機能


システム監視中に問題が発生した場合は、タスクの再起動もしくは、フェイルオーバし、ほぼ無停止で処理を継続

サービス監視機能


・AMHS通信モジュール(I/O)フェイルオーバ
・MCS+ Node フェイルオーバ
・MCS+ GUI 接続先 Node Down
・MCS+ 履歴サーバDown

モニタリング機能


・搬送負荷状態
・保管状態
・システム負荷状態
・AMHS個別機器毎の異常・メンテナンス状況
・Vehicle渋滞状況

履歴・統計機能


-  装置統計
使用率,AMHS信頼性,AMHS稼働統計,保管装置保管率統計,AMHS統計,システム負荷統計,トランザクション統計

-  搬送統計
搬送Job統計,From-Toチャート,TSC Transfer統計,TSC Acquire/Deposit統計,TSC Transfer滞留統計,Stocker Transfer統計, Stocker Input/Output統計,Stocker Transfer滞留統計,キャリア滞留統計